广东省半导体光电材料与智能光子系统重点实验室

实验室概况

哈尔滨工业大学（深圳）微纳米光子学实验室成立于2012年1月，实验室的主要研究领域是微纳米材料的物理性质。实验室将通过广泛而多样的国际国内合作，致力于创建并营造一个与国际接轨并能够进行自由学术交流合作的学术平台，进而吸引一大批物理和材料科学领域第一流的科学家、富有潜力的中青年学者、对科学研究有浓厚兴趣的博士后和研究生。

在微纳米光子学实验室，我们为研究生提供物理、光学和材料方向前沿科研机会，国际先进的科研条件，严格的科研训练，活跃的研究氛围，以及在国内相对优厚的待遇。实验室包括超净实验室、光学实验室等，在500平方米的超净间内，已装备先进的、适用于基础研究的微纳加工设备。已具备的仪器设备有30kV电子束光刻系统，紫外光刻系统，高真空电子束蒸发镀膜系统，反应离子束刻蚀系统，纳秒/飞秒激光器等。